每日經(jīng)濟新聞 2023-06-15 16:15:26
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司子公司MueTec半導體公司生產(chǎn)的設備Argos系列、Rembrandt系列，是否可在光刻過程中對所有晶圓進行100%的檢測？
天準科技（688003.SH）6月15日在投資者互動平臺表示，公司全資子公司MueTec的產(chǎn)品面向半導體前道晶圓的量測與檢測，其中Argos系列、Rembrandt系列屬于宏觀瑕疵檢測設備，可以實現(xiàn)部分工藝制程的的檢測。
(記者 蔡鼎)
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